一、工作原理

　　隔膜式真空泵采用隔膜振動來完成氣體的吸入和排出，其工作原理類似于活塞泵。隔膜泵由兩個相互平行的隔膜組成，中間夾著一個壓縮空氣的腔體，從而形成了四個密閉的腔室。分別為進(jìn)氣腔、壓縮腔、氣體排放腔和膜背面腔。當(dāng)壓縮腔內(nèi)的氣壓下降時，隔膜因外力受到的拉力向上移動，同時將壓縮腔內(nèi)的氣體壓縮。當(dāng)隔膜向上運(yùn)動到極限位置時，氣門打開，將壓縮的氣體排放到外界。然后隔膜因自重和真空作用力下落，進(jìn)入進(jìn)氣腔，從而在膜背面形成一個負(fù)壓，使得進(jìn)氣腔內(nèi)的氣體被吸入，再次開始循環(huán)工作。

 

　　二、主要優(yōu)點(diǎn)

　　1、無油污染：采用隔膜振動抽氣，沒有潤滑油，因此不會產(chǎn)生油污染，在對氣體純度要求較高的領(lǐng)域有著廣泛應(yīng)用。

　　2、抽氣速度快：采用了高效的隔膜振動技術(shù)，能夠快速抽出大量氣體。

　　3、體積小，操作簡單：體積小巧，操作簡單，維護(hù)方便，適用于實(shí)驗(yàn)室和小型化工設(shè)備。

　　4、耐腐蝕性強(qiáng)：由于使用的材料耐腐蝕性強(qiáng)，因此可以在腐蝕性較強(qiáng)的介質(zhì)中進(jìn)行抽氣。

 

　　三、隔膜式真空泵的應(yīng)用領(lǐng)域

　　1、分析儀器：如氣相色譜、質(zhì)譜儀、光譜儀等；

　　2、實(shí)驗(yàn)室設(shè)備：如真空干燥器、冷凍干燥器、真空浸漬設(shè)備等；

　　3、化學(xué)工業(yè)：如蒸餾、冷凝、萃取等過程中的真空處理；

　　4、半導(dǎo)體制造業(yè)：如半導(dǎo)體器件制造、顯示器制造等的真空處理；

　　5、生物醫(yī)藥行業(yè)：如生物反應(yīng)器、離心機(jī)、冷凍離心機(jī)等的真空處理。

　　隔膜式真空泵由于其不需要潤滑油，所以能夠避免油污染和廢棄物處理問題，因此在一些對環(huán)境保護(hù)要求較高的領(lǐng)域也得到了廣泛應(yīng)用。